毛(mao)細聚(ju)(ju)焦(jiao)X熒光光譜儀(yi)、連(lian)接(jie)器(qi)測(ce)(ce)厚(hou)儀(yi) 此系(xi)列(lie)產(chan)品可(ke)測(ce)(ce)量金屬準(zhun)直(zhi)無(wu)法測(ce)(ce)量的(de)(de)微區(qu)(qu),多導毛(mao)細聚(ju)(ju)焦(jiao)管光學(xue)元(yuan)件的(de)(de)光束尺寸可(ke)小(xiao)至5μm,因此可(ke)以測(ce)(ce)量微電子設(she)備、高級電路板、連(lian)接(jie)器(qi)、引腳框(kuang)架(jia)和晶片(pian)的(de)(de)超(chao)微小(xiao)區(qu)(qu)域(yu)(yu)。 可(ke)以測(ce)(ce)量納米級的(de)(de)鍍層(ceng),毛(mao)細聚(ju)(ju)焦(jiao)管能(neng)將更多的(de)(de)X射(she)線輸(shu)出(chu)聚(ju)(ju)焦(jiao)到樣(yang)品上(shang),可(ke)以敏(min)感的(de)(de)反(fan)應鍍層(ceng)納米級厚(hou)度變化。其焦(jiao)斑小(xiao)區(qu)(qu)域(yu)(yu)上(shang)的(de)(de)X射(she)線強(qiang)度比金屬準(zhun)直(zhi)系(xi)統高出(chu)幾個數量級。 可(ke)以實現(xian)更高的(de)(de)測(ce)(ce)試精度。
儀(yi)器簡介(jie):
此(ci)系列產品可測量金屬準直無法測量的微區,多導毛細聚焦管光學元件的光束尺寸可小至5μm,因(yin)此(ci)可以測(ce)量微電(dian)子設備(bei)、高(gao)級電(dian)路板(ban)、連接器、引(yin)腳框架和晶片的(de)超微小區域。
可以測(ce)量(liang)納米級(ji)的鍍層,毛(mao)細聚焦管能將更多的X射線輸出聚焦到樣品上,可(ke)以敏感的(de)反應(ying)鍍層納米級厚(hou)度(du)變(bian)化。其焦斑小區域上的(de)X射線強度(du)比金屬(shu)準直(zhi)系統高出幾個數量級。
可以實現更高的測試精度,毛細管聚(ju)焦X射線從(cong)而特(te)征X射線(xian)強度更(geng)高,探測(ce)器接(jie)受到高的計數率,信噪比(bi)更(geng)好,可以(yi)得到更(geng)好的測(ce)試精度和(he)置信區間。
更好的測試穩定性,探(tan)測器計數率高,測試結果(guo)波動更(geng)小,樣品鍍層、含量的測量更(geng)為精(jing)準(zhun)。
毛細聚焦X熒光光譜儀、連接器測厚儀
性能優勢:
微區分(fen)析(xi):精(jing)準定(ding)位(wei)平(ping)臺和毛細管聚焦光學結構,聚焦直徑可小至 5μm FWHM.
測(ce)試速(su)度:強度高于金(jin)屬準直(zhi)1000倍以上的毛細管光(guang)路系統搭配一六自主研發的EFP核(he)心(xin)算法,分析(xi)效(xiao)率(lv)翻倍,將大幅度縮減分析(xi)時間。
自動智能:儀器響應式(shi)自動開合,AI影像智能尋點(dian)一次(ci)編(bian)程即可實現(xian)成(cheng)百(bai)上千個樣品點(dian)的高效檢測(ce),實現(xian)在線檢測(ce)。
兼容(rong)性:可選超大樣(yang)品艙及移動平臺,可輕(qing)松裝(zhuang)載大尺寸(cun)樣(yang)品。所有核心部(bu)件封裝(zhuang)于可拆卸獨立測(ce)量頭內,可實現即插即用的安裝(zhuang)在廠線(xian)上。
耐久性:模塊化設計,使用壽命長,通用性更強,后期維護方便,各部件輕松換代升級(ji)。
毛細聚焦X熒光光譜儀、連接器測厚儀
光路系(xi)統:
多導毛細管技術(shu):
高能量的(de)X-ray,配合高分辨(bian)率、大窗(chuang)口的SDD探測器,實現極小測量光斑。
高集成光路+多導(dao)(dao)毛細管:在高集(ji)成光路系統的(de)基礎(chu)上,搭配多導(dao)(dao)毛細管實(shi)現極小(xiao)面積、極薄(bo)鍍層的(de)高速、精確(que)、穩定的(de)測量。