毛(mao)細聚焦X熒光(guang)光(guang)譜儀(yi)、連(lian)接(jie)器測(ce)厚儀(yi) 此系列(lie)產品可(ke)測(ce)量金(jin)屬準(zhun)直無法測(ce)量的微區(qu)，多導毛(mao)細聚焦管光(guang)學(xue)元件(jian)的光(guang)束尺寸可(ke)小至(zhi)5μm，因此可(ke)以(yi)測(ce)量微電子設備、高級電路板、連(lian)接(jie)器、引腳框架和晶片的超微小區(qu)域。 可(ke)以(yi)測(ce)量納米級的鍍(du)層(ceng)，毛(mao)細聚焦管能(neng)將更多的X射線(xian)輸出聚焦到樣品上，可(ke)以(yi)敏感的反應鍍(du)層(ceng)納米級厚度(du)(du)變化。其焦斑小區(qu)域上的X射線(xian)強(qiang)度(du)(du)比金(jin)屬準(zhun)直系統高出幾個數(shu)量級。 可(ke)以(yi)實現(xian)更高的測(ce)試精度(du)(du)。
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