柔性(xing)線路(lu)板膜厚儀 XTU系(xi)列測(ce)厚儀雖(sui)然結構(gou)緊湊，但是都有大(da)容(rong)量(liang)的(de)(de)開槽設(she)(she)計(ji)樣(yang)品腔，即(ji)使超(chao)過樣(yang)品腔尺寸(cun)的(de)(de)工件也可(ke)以測(ce)試(shi)。 搭配微(wei)聚焦射線管和*的(de)(de)光路(lu)設(she)(she)計(ji)，以及變焦算法裝置(zhi)，可(ke)測(ce)試(shi)極微(wei)小和異(yi)形樣(yang)品。 檢測(ce)78種(zhong)元素鍍層·0.005um檢出限·小測(ce)量(liang)面積0.002mm2·深凹槽可(ke)達(da)90mm。 外置(zhi)的(de)(de)高精密微(wei)型滑軌，可(ke)以快速(su)控制樣(yang)品移動，移動精度0.005mm，速(su)度10-30mm（X-Y）/圈，
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